[发明专利]用于表征具有大的层深度的离子交换波导的棱镜耦合系统和方法有效
| 申请号： | 201580076712.4 | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN107407637B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | R·V·鲁斯夫;V·M·施奈德;E·E·杨 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/84;C03C21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹;徐鑫 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了通过双离子交换(DIOX)用于表征在玻璃基材中形成的具有大的层深度的波导的棱镜耦合系统和方法。一种方法包括在形成了深的区域的第一离子交换工艺之后进行第一测量，然后在形成了浅的区域的第二离子工艺之后进行第二测量。相对于棱镜(40)设置光阻特征(49)以产生模式光谱，在模式光谱中，以损失用于测量浅的区域的特性的分辨率为代价，强耦合的低阶模式的模式线对比度得到了改进。然后使用标准技术确定浅的区域的压缩应力、层深度或抗拉强度。使用近IR波长测量更深的第一离子交换工艺的特性可进行第二测量。还公开了使用形状控制测量离子交换样品的系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表征 具有 深度 离子交换 波导 棱镜 耦合 系统 方法 | ||
【主权项】：
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