[发明专利]荷电粒子线装置及扫描电子显微镜

摘要

[课题]期望提升荷电粒子线装置的性能。[解决手段]一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源11；加速电源14，设置来加速从该荷电粒子源11射出的荷电粒子线12，并连接于该荷电粒子源11；及物镜透镜26，将该荷电粒子线12聚焦于试料23。物镜透镜26相对于试料23，设置于该荷电粒子线12的入射侧的相反侧；且形成该物镜透镜26的磁极具有：中心磁极26a，其中心轴与该荷电粒子线12的理想光轴一致；上部磁极26b；筒形的侧面磁极26c；及圆盘形状的下部磁极26d；其中，靠近于该中心磁极26a的试料23侧的上部中，该上部附近的径为较小的形状，该中心磁极26a的下部为圆柱形状；该上部磁极26b为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近该中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。

主权项

1.一种荷电粒子线装置，具备：荷电粒子源；加速电源，设置来加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；物镜透镜，相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧，将所述荷电粒子线聚焦于试料；绝缘板，配置于所述物镜透镜上；及导电性试料台，配置于所述绝缘板上；其中，所述物镜透镜及所述导电性试料台为绝缘。