[发明专利]改善混合式扫描离子束注入机的生产率的系统及方法

摘要

本发明提供一种通过确定优化扫描宽度来改善混合式扫描注入机的生产率的方法。本发明还提供一种调谐经扫描离子束的方法，其中，确定期望束电流，用以利用期望特性来注入工件。利用设置法拉第杯来调谐所述经扫描射束。使用设置法拉第杯的时间信号来调整扫描宽度，以获得最佳扫描宽度。针对与期望剂量相对应的期望通量值来调谐光学器件。当获得期望通量值时，控制通量分布的均匀性。进一步测量离子束的角度分布。

主权项

1.一种用于优化工件上的扫描宽度的离子注入系统，其包括：离子源；引出孔径，其被配置成从所述离子源引出点状离子束；质量解析设备，其被定位于所述引出孔径的下游，其中，所述质量解析设备被配置成质量分析所述点状离子束；离子束扫描设备，其沿所述点状离子束的路径来定位，其中，所述离子束扫描设备被配置成在快速扫描方向上往复扫描所述点状离子束，在其中限定具有带状束宽度的带状离子束；工件扫描设备，其具有工件安装座，该工件安装座被配置成选择性固定所述工件，其中，所述工件扫描设备被配置成使所述工件平移通过所述带状离子束；剂量测定系统，其被定位于所述工件安装座的下游，其中，所述剂量测定系统包括配置成测量所述带状离子束的束电流的调谐法拉第杯以及分离一定距离的两个法拉第杯，该距离与所述工件的直径相关联；以及控制系统，其被配置成调谐所述带状离子束，以至少部分基于由所述剂量测定系统的调谐法拉第杯和/或两个法拉第杯测量的束电流来优化所述扫描宽度。