[发明专利]反射镜装置有效
| 申请号： | 201580069606.3 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107111246B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | Y.萨罗夫;M.霍尔兹;F.哈克;M.C.温格勒;M.豪夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种反射镜装置(29)，其包括至少一个导电屏蔽元件(25)，其形成在与反射镜体(35)的至少一个侧表面(22)和/或后侧(21)相邻的区域中产生电场的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜装置(29)，包括/n1.1.具有反射镜体(35)的至少一个反射镜(27)，所述反射镜体(35)具有/n1.1.1.朝前的前侧，/n1.1.2.后侧(21)，以及/n1.1.3.至少一个侧表面(22)，以及/n1.2.至少两个分开的导电屏蔽元件(25)，/n1.2.1.能够通过至少两个供电线路(64)对所述至少两个分开的导电屏蔽元件(25)施加不同电压(U
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