[发明专利]传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备有效
申请号: | 201580064373.8 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN107003129B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 三谷谕司;椛泽秀年;高桥和夫;新仓英生 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G01C19/5677 | 分类号: | G01C19/5677;B81B3/00;H01L41/113 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;谢雪闽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极,并且彼此相邻并平行。多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极,并且彼此相邻并平行。所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上,将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。 | ||
搜索关键词: | 传感器 装置 陀螺仪 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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