[发明专利]传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备

权利要求书

1.一种传感器装置，包括：

振动器单元，包括：

环形框架，包括第一主表面，

多个振子部，每个包括由所述框架支撑的一端部，

多个压电驱动单元，每个包括压电膜、以及以夹持所述压电膜的方式彼此相对的第一驱动电极和第二驱动电极，并使得所述框架在平行于所述第一主表面的平面内振动，

多个第一压电检测单元，每个包括第一检测电极，并基于所述框架的所述第一主表面中的变形量，检测绕与所述第一主表面垂直的第一轴的角速度，以及

多个第二压电检测单元，每个包括第二检测电极，并基于所述多个振子部的在与所述第一主表面垂直的方向上的变形量，检测与所述第一轴正交的两个轴方向上的角速度；

环形基部，包括多个端子部，并布置在所述振动器单元周围；

多个连结部，布置在所述振动器单元和所述基部之间，用于支撑所述振动器单元并使所述振动器单元能够相对于所述基部振动，

多个布线层，所述多个布线层的每一者包括：

多个驱动布线，分别连接到所述第一驱动电极和所述第二驱动电极，并且彼此相邻并平行，和

多个检测布线，所述多个检测布线与所述第一检测电极相连接的第一检测布线，以及与所述第二检测电极相连接的第二检测布线，

其中，所述多个布线层的每一者分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接，并且

对于所述多个布线层的每一者，与所述第一检测电极和所述第二检测电极之中的具有大电极容量的检测电极相连接的检测布线是与所述多个驱动布线相邻布置的。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中

所述多个连结部包括连接到所述振动器单元的第一端部、连接到所述基部的第二端部、和支撑所述布线层且与所述第一主表面平行的第二主表面，

所述多个驱动布线从所述第一端部朝着所述第二端部布置，且布置为偏向所述第二主表面的一侧，和

所述多个检测布线从所述第一端部朝着所述第二端部布置，且布置为偏向所述第二主表面的另一侧。

3.根据权利要求2所述的传感器装置，其中

所述多个驱动布线和检测布线被布置为：在所述第二主表面上，以所述多个连结部的各自的中心线作为对称轴，相互线对称，并且等间隔布置。

4.根据权利要求2所述的传感器装置，其中

所述多个驱动布线包括：

与所述第一驱动电极相连接的第一驱动布线，第一驱动信号被输入到所述第一驱动布线，

与所述第二驱动电极相连接的第二驱动布线，与所述第一驱动信号具有相反相位的第二驱动信号被输入到所述第二驱动布线，

在所述多个连结部中，所述第二驱动布线被布置在所述多个检测布线和所述第一驱动布线之间。

5.根据权利要求1所述的传感器装置，其中

所述多个驱动布线和检测布线分别由具有比所述第一驱动电极和所述第二驱动电极以及所述第一检测电极和所述第二检测电极更低的弹性模量的材料构成。

6.根据权利要求1所述的传感器装置，其中

所述布线层进一步包括覆盖所述多个驱动布线和检测布线的有机膜。

7.根据权利要求1所述的传感器装置，其中

所述框架包括：

一组第一梁，在与所述第一轴正交的第二轴方向上延伸，并且在与所述第一轴和所述第二轴中的每一个轴正交的第三轴方向上彼此相对，

一组第二梁，在所述第三轴方向上延伸，并在所述第二轴方向上彼此相对，以及

4个连接部，连接所述第一梁和所述第二梁，

其中所述多个振子部包括从所述4个连接部向着所述框架的中心突出的4个振子部，并且

所述多个连结部包括从所述4个连接部向着所述基部延伸的4个连结部。