[发明专利]在基板处理腔室中使用的准直器有效
| 申请号： | 201580061359.2 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107002220B | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 马丁·李·瑞克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供用于在基板处理腔室中使用的准直器的实施方式。在一些实施方式中，准直器包含：本体，所述本体具有中央区域、周边区域以及设置在中央区域和周边区域之间的过渡区域；在中央区域中的多个具有第一深宽比的第一孔；在周边区域中的多个具有第二深宽比的第二孔，第二深宽比小于第一深宽比；和在过渡区域中的多个第三孔，其中所述多个第三孔被切割，使过渡区域形成环绕中央区域的圆锥形状。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 腔室中 使用 准直器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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