[发明专利]利用衍射光栅的三维形状测量装置有效
申请号: | 201580059588.0 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN107076548B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 徐长一 | 申请(专利权)人: | 株式会社高迎科技 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开一种利用衍射光栅的三维形状测量装置,其包括:分光器,其安装于光源部发生的光的行进方向,使光的一部分沿第一路径反射,且使光的一部分沿第二路径透过;图像传感器,其接收沿所述第一路径行进而被具备至少一个孔(hole)的测量对象物反射的光,并测量所述测量对象物的形状;及衍射光栅,其配置于所述光源部与所述分光器之间的光路径、所述测量对象物与所述分光器之间的光路径及所述测量对象物与所述图像传感器之间的光路径中一个以上的光路径。 | ||
搜索关键词: | 利用 衍射 光栅 三维 形状 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种利用衍射光栅的三维形状测量装置,其中,包括:分光器,其安装于光源部发生的光的行进方向,使光的一部分沿第一路径反射,且使光的一部分沿第二路径透过;图像传感器,其接收沿所述第一路径行进而被具备至少一个孔的测量对象物反射的光,并测量所述测量对象物的形状;及衍射光栅,其配置于所述光源部与所述分光器之间的光路径、所述测量对象物与所述分光器之间的光路径及所述测量对象物与所述图像传感器之间的光路径中一个以上的光路径。
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