[发明专利]利用衍射光栅的三维形状测量装置

权利要求书

1.一种利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，包括：

分光器，其安装于光源部发生的光的行进方向，使光的一部分沿第一路径反射，且使光的一部分沿第二路径透过；

图像传感器，其接收沿所述第一路径行进而被具备至少一个孔的测量对象物反射的光，并测量所述测量对象物的形状；及

透过型衍射光栅，其配置于所述光源部与所述分光器之间的光路径、所述测量对象物与所述分光器之间的光路径及所述测量对象物与所述图像传感器之间的光路径中一个以上的光路径，且

所述衍射光栅衍射使入射到所述衍射光栅的光通过所述衍射光栅并衍射所述光，以便具有互不相同视差信息，并且

所述图像传感器接收通过所述衍射光栅具有互不相同视差信息，生成基于所述各个互不相同视差信息的多个图像。

2.根据权利要求1所述的利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，

所述图像传感器包括多个图像传感器，所述多个图像传感器通过单一成像透镜接收所述具有互不相同视差信息的光，生成基于所述各个互不相同的视差信息的所述多个图像。

3.根据权利要求1所述的利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，

所述测量对象物配置得使沿所述第一路径反射的光在形成所述孔的前面的相反面的后面反射，且

所述图像传感器使在所述测量对象物的所述后面反射的光与在透过所述后面并位于所述测量对象物的所述后面内部的所述孔的底面反射光干涉并接收，从而测量所述测量对象物的形状。

4.根据权利要求1所述的利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，

还包括基准镜，其配置于沿所述第二路径透过的光的行进方向，形成与所述测量对象物反射的光引起干涉的基准光；

所述图像传感器利用因所述测量对象物反射的光与所述基准光的重叠而导致的干涉信号，测量所述测量对象物的所述形状。

5.根据权利要求1所述的利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，

所述衍射光栅具有透镜阵列、棱镜阵列、线栅中至少一种形态。

6.根据权利要求1所述的利用衍射光栅的三维形状测量装置，其中，

利用所述衍射光栅的三维形状测量装置以基板的导通孔为所述测量对象物，测量三维形状。