[发明专利]液体喷出装置、纳米压印设备、纳米压印用液体容纳罐、固化物图案的制造方法、光学组件的制造方法、电路板的制造方法、和压印用模具的制造方法在审

专利信息
申请号: 201580058890.4 申请日: 2015-10-05
公开(公告)号: CN107112206A 公开(公告)日: 2017-08-29
发明(设计)人: 伊藤俊树;荒木義雅;岩下和美 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;B05C5/00;B05D1/26;B05D3/06;B29C59/02;B05C11/10
代理公司: 北京魏启学律师事务所11398 代理人: 魏启学
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种液体喷出装置,其包括容纳纳米压印用液体的容纳部,并且还包括与容纳部连通且喷出纳米压印用液体的喷出口。容纳部具有吸附或吸收选自由颗粒、金属离子和水组成的组中的至少之一的吸着介质。当纳米压印用液体从喷出口喷出时,吸着介质不从喷出口喷出。
搜索关键词: 液体 喷出 装置 纳米 压印 设备 容纳 固化 图案 制造 方法 光学 组件 电路板 模具
【主权项】:
一种液体喷出装置,其特征在于,其包括:容纳纳米压印用液体的容纳部;和与所述容纳部连通并且喷出所述纳米压印用液体的喷出口,其中所述容纳部具有吸附或吸收选自由颗粒、金属离子和水组成的组中的至少之一的吸着介质,并且当所述纳米压印用液体从所述喷出口喷出时,所述吸着介质不从所述喷出口喷出。
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