[发明专利]容器收纳装置有效
| 申请号： | 201580051716.7 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106716598B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 园田主税;宫原强;大川胜宏;宇都宫由典;赤田光;长谷部和久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;B05C11/10;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;王磊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 收纳多个存积有半导体制造用的处理液的容器的容器收纳装置包括：载置容器的载置台；根据载置在载置台的容器内的处理液的液量进行升降的支承板；和根据支承板的升降相对于容器的相对位置发生变化的阻挡件。阻挡件在容器内的液量低于规定值的情况下，上升至阻碍容器从载置台移动的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 容器 收纳 装置 | ||
【主权项】：
一种容器收纳装置，其收纳多个存积有半导体制造用的处理液的容器，所述容器收纳装置的特征在于，包括：载置所述容器的多个载置台；和移动部件，其配置在阻碍为了更换所述载置台上的所述容器而使该容器从所述载置台移动的位置，且规定的条件成立时相对于所述载置台上的容器的相对位置发生变化，从阻碍用于更换所述容器的移动的位置退避。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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