[发明专利]基板收纳容器

摘要

基板收纳容器具有容器主体、盖体和侧方基板支承部(5)。基板收纳容器的侧方基板支承部(5)具有在支承着基板的缘部时与基板接触的基板接触部(53、54)、和支承基板接触部(53、54)的接触部支承部(521、523)。基板接触部(53、54)由相对于与基板接触部(53、54)接触的基板的温度而具有耐热性的材料构成。接触部支承部(521、523)由耐热性比基板接触部(53、54)低、且吸湿率比基板接触部(53、54)低的材料构成。

主权项

一种基板收纳容器，其特征在于，具有：容器主体，其在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，且在一端部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，其能够相对于所述容器主体开口部而装拆，能够封堵所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，其在所述基板收纳空间内以成对的方式配置，在所述容器主体开口部没有被所述盖体封堵时，能够在使所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定间隔分开地排列的状态下，支承所述多个基板的缘部，所述侧方基板支承部具有在支承着所述基板的缘部时与所述基板接触的基板接触部、和支承所述基板接触部的接触部支承部，所述基板接触部由相对于与所述基板接触部接触的所述基板的温度而具有耐热性的材料构成，所述接触部支承部由耐热性比所述基板接触部低、且吸湿率比所述基板接触部低的材料构成。