[发明专利]层叠型硬质皮膜和成形用模具

摘要

本发明提供一种组成不同的层A和层B交替层叠而成的层叠型硬质皮膜，其中，层A由(TiaCrbAlcSid)(CxN1－x)构成，层B由(CreSi1－e)(CyN1－y)或(AlfSi1－f)(CzN1－z)构成，层A和层B的厚度分别为2～100nm。

主权项

一种层叠型硬质皮膜，其特征在于，为组成不同的层A和层B层叠而成的层叠型硬质皮膜，所述层A由(TiaCrbAlcSid)(CxN1－x)构成，设Ti、Cr、Al、Si和C的原子比分别为a、b、c、d和x时，满足0≤a≤0.10，0.10≤b≤0.50，0.50≤c≤0.90，0≤d≤0.05，a+b+c+d＝1，0≤x≤0.5，的关系，并且，所述层B由(CreSi1－e)(CyN1－y)构成，设Cr和C的原子比分别为e和y时，满足0.90≤e≤1.0，0≤y≤0.5的关系，或者，由(AlfSi1－f)(CzN1－z)构成，设Al和C的原子比分别为f和z时，满足0.90≤f≤1.0，0≤z≤0.5的关系，所述层A和层B的厚度分别为2～100nm，分别交替层叠。