[发明专利]X射线分析装置

摘要

本发明的X射线分析装置同时包括第1补偿机构(13A、13B)，该第1补偿机构(13A、13B)输出用于使根据在预备测定求出的计数率的总计值而推算出的靶峰的波高值，与规定的期待波高值一致的第1增益；第2补偿机构(14A、14B)，该第2补偿机构(14A、14B)通过反馈控制，实时地输出应与第1增益相加的第2增益，以便使在规定的能量范围内检测出的靶峰的波高值与期待波高值一致，此外，包括反馈控制停止机构(16A、16B)，其确实地判断相对靶峰的妨碍线的有无，在判定具有妨碍线的场合，将增益设定为仅仅由第1增益构成的一定值。

主权项

一种X射线分析装置，其包括：检测器，该检测器以与X射线的强度相对应的数量，产生与已射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲；高速AD转换器，该高速AD转换器对通过该检测器而产生的脉冲进行数字化处理；脉冲波高值稳定器，该脉冲波高值稳定器针对来自该高速AD转换器的脉冲，使作为分析目标的X射线的能谱中的峰值的靶峰的波高值稳定；计数机构，该计数机构针对来自该脉冲波高值稳定器的脉冲，求出已设定的波高范围中的计数率，上述脉冲波高值稳定器包括：输入脉冲乘法运算器，该输入脉冲乘法运算器将已输入的增益与已输入的来自上述高速AD转换器的脉冲相乘，将其输出；第1补偿机构，该第1补偿机构通过正式测定前的预备测定，针对来自上述输入脉冲乘法运算器的脉冲，求出计数率的总计值，根据已求出的计数率的总计值，推算上述靶峰的波高值，输出作为用于使该已推算的靶峰的波高值与规定的期待波高值一致的增益的第1增益；第2补偿机构，该第2补偿机构根据来自上述输入脉冲乘法运算器的脉冲，在包括上述期待波高值的规定的能量范围内检测上述靶峰的波高值，并且实时地通过反馈控制，输出作为应与上述第1增益相加的增益的第2增益，以便使该已检测的靶峰的波高值与上述期待波高值一致；增益加法运算器，该增益加法运算器将已输入的上述第1增益和上述第2增益相加，作为增益而输出给上述输入脉冲乘法运算器；反馈控制停止机构，该反馈控制停止机构判断相对上述靶峰的妨碍线的有无，在判定具有妨碍线的场合，停止上述第2补偿机构的第2增益的输出，由此，将输入到上述输入脉冲乘法运算器中的增益设定为仅仅由上述第1增益构成的一定值。