[发明专利]液面计以及液体原料气化供给装置有效
| 申请号： | 201580044670.6 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107003168B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 日高敦志;永濑正明;平田薰;山下哲;平尾圭志;西野功二;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01F23/22 | 分类号： | G01F23/22;B01J4/00;C23C16/455;H01L21/31 |
| 代理公司： | 11387 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本大阪府大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体 液面计 流量控制装置 液体原料气化 测温电阻 供给装置 液体原料 液相切换 检测腔 依存性 检测 侧壁 液面 贮存 收容 流出 | ||
【主权项】：
1.一种液面计，其特征在于，/n具有液面检测部件和温度测定部件，所述液面计设置在贮存液体的腔体内，所述液面检测部件具备收容测温电阻的保护管，并且水平配置在所述腔体内，/n所述保护管沿水平方向插入并固定于所述腔体的侧壁，所述保护管具备用于固定到所述腔体的侧壁的凸缘，介于该凸缘与所述腔体侧壁的外侧面之间具有包围该保护管的周围的金属垫圈，具备分别形成于该凸缘和所述腔体侧壁的外侧面上且收容所述金属垫圈的垫圈用凹部。/n
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