[发明专利]液面计以及液体原料气化供给装置有效
申请号: | 201580044670.6 | 申请日: | 2015-11-02 |
公开(公告)号: | CN107003168B | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 日高敦志;永濑正明;平田薰;山下哲;平尾圭志;西野功二;池田信一 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G01F23/22 | 分类号: | G01F23/22;B01J4/00;C23C16/455;H01L21/31 |
代理公司: | 11387 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘春成;刘春燕 |
地址: | 日本大阪府大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 腔体 液面计 流量控制装置 液体原料气化 测温电阻 供给装置 液体原料 液相切换 检测腔 依存性 检测 侧壁 液面 贮存 收容 流出 | ||
1.一种液面计,其特征在于,
具有液面检测部件和温度测定部件,所述液面计设置在贮存液体的腔体内,所述液面检测部件具备收容测温电阻的保护管,并且水平配置在所述腔体内,
所述保护管沿水平方向插入并固定于所述腔体的侧壁,所述保护管具备用于固定到所述腔体的侧壁的凸缘,介于该凸缘与所述腔体侧壁的外侧面之间具有包围该保护管的周围的金属垫圈,具备分别形成于该凸缘和所述腔体侧壁的外侧面上且收容所述金属垫圈的垫圈用凹部。
2.根据权利要求1所述的液面计,其特征在于,
所述温度测定部件具备收容测温电阻的保护管,并且水平配置在所述腔体内。
3.根据权利要求1所述的液面计,其特征在于,
所述温度测定部件具备收容热电偶、热敏电阻或红外温度计的保护管。
4.根据权利要求2所述的液面计,其特征在于,
所述温度测定部件具备收容热电偶、热敏电阻或红外温度计的保护管。
5.根据权利要求2所述的液面计,其特征在于,
所述温度测定部件和所述液面检测部件配置在同一水平高度。
6.根据权利要求1所述的液面计,其特征在于,
构成为:在所述液面检测部件的测温电阻中流动比温度测定用电流大的电流值的电流,通过将由该液面检测部件测定的检测温度与由所述温度测定部件测定的温度进行比较,从而检测所述液面检测部件存在于液相部内还是气相部内。
7.根据权利要求2所述的液面计,其特征在于,
构成为:在所述温度测定部件的测温电阻中流动温度测定用的第一电流的同时,在所述液面检测部件的测温电阻中流动比所述第一电流大的第二电流,通过比较所述各测温电阻的电阻值,检测所述液面检测部件存在于液相部内还是气相部内。
8.根据权利要求7所述的液面计,其特征在于,
所述温度测定部件配置于比预先设定的下限液位靠下方的位置,所述液面检测部件配置在所述下限液位和预先设定的上限液位的至少一者的液位上。
9.一种液面计,其特征在于,
具有水平配置在贮存液体原料的腔体内,并且收容测温电阻的一根保护管,
所述保护管沿水平方向插入并固定于所述腔体的侧壁,所述保护管具备用于固定到所述腔体的侧壁的凸缘,介于该凸缘与所述腔体侧壁的外侧面之间具有包围该保护管的周围的金属垫圈,具备分别形成于该凸缘和所述腔体侧壁的外侧面上且收容所述金属垫圈的垫圈用凹部,
构成为:在所述测温电阻中交互流动温度测定用的第一电流值的电流和比该第一电流值大的第二电流值的电流,通过比较所述测温电阻的相对于各个电流值的电阻值,检测所述保护管存在于液相部内还是气相部内。
10.一种液面计,其特征在于,
具有水平配置在贮存液体原料的腔体内,并且收容测温电阻的一根保护管,
所述保护管沿水平方向插入并固定于所述腔体的侧壁,所述保护管具备用于固定到所述腔体的侧壁的凸缘,介于该凸缘与所述腔体侧壁的外侧面之间具有包围该保护管的周围的金属垫圈,具备分别形成于该凸缘和所述腔体侧壁的外侧面上且收容所述金属垫圈的垫圈用凹部,
构成为:在所述测温电阻中流动比温度测定用电流大的规定电流值的电流,根据所述保护管位于液相部内时和位于气相部内时的电阻值变化,检测所述保护管位于液相部内还是气相部内。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的液面计,其特征在于,
所述保护管实施了钝化处理。
12.根据权利要求1或10所述的液面计,其特征在于,
在分别形成于该凸缘和所述腔体侧壁的外侧面上的所述垫圈用凹部上分别形成有垫圈按压用环状突起。
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