[发明专利]柔性GaN发光二极管有效
申请号: | 201580044661.7 | 申请日: | 2015-08-21 |
公开(公告)号: | CN107004735B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 蔡凯威;李携曦;张煜辉 | 申请(专利权)人: | 香港大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进;刘春元 |
地址: | 中国香港*** | 国省代码: | 香港;81 |
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摘要: | 提供了制造柔性独立LED结构的方法。LED结构可在蓝宝石衬底上形成,并且然后LED结构的表面可被涂覆有环氧树脂并附着到刚性支撑衬底。可使用来自高功率脉冲模式激光器的紫外光束和阴影掩模来执行激光剥离过程,从而使LED结构的至少一部分与蓝宝石衬底分离。然后,衬底可浸没在丙酮浴中以溶解环氧树脂并分离结构与支撑衬底。 | ||
搜索关键词: | 柔性 gan 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种制造连续膜、晶体、半导体、柔性、独立发光二极管LED的方法,所述方法包括:在第一刚性衬底上形成LED结构;使用粘合剂将所述LED结构附着到支撑衬底;使用选择性激光剥离LLO过程来分离所述LED结构的至少一部分与所述第一刚性衬底;以及将所述LED结构浸没在溶剂浴中,以溶解粘合剂并分离所述LED结构与所述支撑衬底。
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