[发明专利]柔性显示器基板的封装装置和方法

摘要

本发明公开了一种柔性显示器基板的封装装置和方法。柔性显示器基板的封装装置包括：放置柔性基板的夹具、在柔性基板的表面喷射无机物的第一喷射部、在柔性基板的表面喷射有机物的第二喷射部、离子束产生装置和差分真空腔，该离子束产生装置将通过使离子加速产生的离子束发射到喷射有无机物和有机物的柔性基板的表面，该差分真空腔可将离子束产生装置和形成有第一喷射部、第二喷射部和夹具的空间设置成具有不同的真空度。该离子束产生装置可产生离子束能量在第一阈值和第二阈值之间的离子束，使得被加速的离子束注入到喷射有无机物和有机物的柔性基板的表面。

主权项

1.一种柔性显示器基板的封装装置，其特征在于，包括：夹具，放置柔性基板；第一喷射部，在所述柔性基板的表面喷射无机物；第二喷射部，在所述柔性基板的表面喷射有机物；离子束产生装置，所述离子束产生装置使离子加速，产生离子束能量在第一阈值和第二阈值之间的离子束，以将产生的离子束发射到喷射有所述无机物和所述有机物的所述柔性基板的表面；及差分真空腔，所述差分真空腔可将包含所述离子束产生装置的空间和形成有所述第一喷射部、所述第二喷射部和所述夹具的空间设置成具有不同的真空度；其中，所述离子束产生装置将产生的离子束、喷射的所述无机物和喷射的所述有机物同时注入所述柔性基板的表面。