[发明专利]显示装置、制造显示装置的方法以及电子设备有效
申请号: | 201580038843.3 | 申请日: | 2015-04-20 |
公开(公告)号: | CN106663394B | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 津野仁志 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G09F9/30 | 分类号: | G09F9/30;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/786;H01L51/50;H05B33/26 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;刘彬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种根据本公开的显示装置,包括:在同一基板上的具有底栅结构的薄膜晶体管以及具有顶栅结构的薄膜晶体管。具有顶栅结构的薄膜晶体管的栅极电极与布线层设置在同一层中。在根据本公开的制造显示装置的方法中,在制造包括在同一基板上的具有底栅结构的薄膜晶体管和具有顶栅结构的薄膜晶体管的显示装置时,具有顶栅结构的薄膜晶体管的栅极电极与布线层形成在同一层中。 | ||
搜索关键词: | 显示装置 制造 方法 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
1.一种显示装置,包括:在同一基板上的具有底栅结构的薄膜晶体管以及具有顶栅结构的薄膜晶体管,其中,所述具有顶栅结构的薄膜晶体管的顶部栅极电极与布线层设置在同一层中,其中,第一布线层设置在所述薄膜晶体管上的层间绝缘薄膜上,并且第一层间薄膜设置在所述第一布线层上,设置有所述顶栅结构的布线层是设置在所述第一层间薄膜上的第二布线层,其中,在层间绝缘薄膜的与所述具有顶栅结构的薄膜晶体管的沟道区域对应的地点形成接触孔,并且栅极绝缘薄膜设置在包含所述接触孔的层间绝缘薄膜上。
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