[发明专利]用于目标处理机械的封闭件有效
申请号: | 201580033308.9 | 申请日: | 2015-05-01 |
公开(公告)号: | CN106462084B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | J·G·威维伯格;L·V·普兰德索恩;B·范格尔德;G·德博尔;M·P·丹斯伯格 | 申请(专利权)人: | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 荷兰代*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明涉及用于封闭目标处理机械的组件(1)。所述组件包括封闭件(2)和传送单元(3)。所述封闭件包括:基板(21),所述目标处理机械布置在该基板上;侧壁面板(22),其固定到所述基板;以及顶壁面板(23),其固定到所述侧壁面板。此外,封闭件包括处于封闭件的侧壁中的进入开口(24)。传送单元包括用于使传送单元相对于基板运动的一个或多个传送元件(31)。传送单元还包括布置成用于关闭进入开口的门面板(32),其中门面板借助于柔性联接件(33)可动地安装到所述传送单元,该柔性联接件允许门面板相对于传送单元至少沿着朝向和/或远离封闭件的方向运动。 | ||
搜索关键词: | 用于 目标 处理 机械 封闭 | ||
【主权项】:
1.一种用于封闭目标处理机械的组件,其中所述组件包括封闭件和传送单元,其中所述封闭件包括:基板,所述基板用于将所述目标处理机械布置在所述基板上,侧壁面板,所述侧壁面板固定到所述基板,和顶壁面板,所述顶壁面板固定到所述侧壁面板,其中所述封闭件包括处于所述封闭件的侧壁中的进入开口,其中所述传送单元包括用于使所述传送单元相对于所述基板运动的一个或多个传送元件,其中所述传送单元包括门面板,所述门面板被布置成用于关闭所述进入开口,其特征在于,所述门面板借助于柔性联接件安装到所述传送单元,其中所述柔性联接件被布置成用以至少当所述传送单元布置在所述封闭件的进入开口的前部中时允许所述门面板相对于所述传送单元至少沿着朝向和/或远离所述封闭件的方向运动,其中具有所述门面板的所述传送单元布置成能够从所述封闭件移除。
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