[发明专利]隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法有效
| 申请号： | 201580033235.3 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN106461097B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 渡边一诚;四方出 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K7/14;F16K7/16;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 隔膜按压件(6)的与隔膜(5)抵接的面的曲率半径(SR2)设为30mm以上。相对于阀体(2)的凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)，按压接合件(8)的下表面的锥角(θ)设为10°以下。 | ||
| 搜索关键词： | 隔膜 流体 控制 装置 半导体 制造 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种隔膜阀，其特征在于，具备：设置有流体流入通路、流体流出通路及向上开口的凹处的阀体；在形成于阀体的流体流入通路的周缘配置的阀座；通过按压/离开阀座来进行流体流入通路开闭的可弹性变形的球壳状隔膜；在与阀体的凹处底面之间保持隔膜的外周缘部的按压接合件；按压隔膜的中央部的隔膜按压件；使隔膜按压件上下移动的上下移动单元，按压接合件的下表面整体呈具有规定的倾斜角度的锥状，阀体的凹处底面具有圆形的平坦部、以及与平坦部的外周连接并相对于平坦部凹陷的凹部，在所述隔膜阀中，隔膜按压件的与隔膜抵接的面的曲率半径设为30mm以上，相对于阀体的凹处底面的平坦部，按压接合件的下表面的锥角设为10°以下。
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