[发明专利]清洗装置、清洗系统、清洗方法以及清洗系统中的控制方法

摘要

清洗装置(30)为，通过清洗气体对保存被保存物的保存容器(F)的内部进行清洗处理，具备：载放保存容器的多个载放部(31)；向载放于载放部的保存容器供给清洗气体的多个供给管(33)；连接多个供给管并且向多个供给管供给清洗气体的主管(41)；以及对主管中的清洗气体的流量进行调节的MFC(43)。

主权项

1.一种清洗装置，通过清洗气体对保存被保存物的保存容器的内部进行清洗处理，具备：多个载放部，载放上述保存容器；多个供给管，向载放于上述载放部的上述保存容器供给上述清洗气体；主管，连接有上述多个供给管，并且向上述多个供给管供给上述清洗气体；流量调节部，调节上述主管中的上述清洗气体的流量；以及控制部，执行上述流量调节部中的流量控制，在对上述保存容器的清洗处理中，当从上位控制器发送来预定使上述保存容器入库的信息时，上述控制部将上述流量调节部控制为，清洗气体向上述清洗处理中的上述保存容器的供给流量成为0，并且将上述流量调节部控制为，当与上述信息对应的保存容器被载放于上述载放部时，再次开始上述清洗气体的供给。