[发明专利]抗蚀剂树脂及其制造方法在审
| 申请号： | 201580020255.7 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106255714A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 青木畅章;六人部壮 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中，R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1～5的亚烷基、碳原子数为2～5的亚烯基或碳原子数为6～10的亚芳基；R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、碳原子数为2～5的烯基、碳原子数为6～10的芳基或卤原子；n表示0～20的整数；Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基；以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 树脂 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种聚酰胺酸，其以下述通式(1)表示：[化1]式中，R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1～5的亚烷基、碳原子数为2～5的亚烯基或碳原子数为6～10的亚芳基；R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、碳原子数为2～5的烯基、碳原子数为6～10的芳基或卤原子；n表示0～20的整数；Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基；以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基。
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