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[发明专利]碱溶性树脂-CN201880026833.1在审
发明人： 六人部壮;伏木将人 -专利权人：长濑化成株式会社
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C08F290/14 文献下载
摘要：本发明提供适合用于获得高溶解性、高灵敏度、高耐热透明性、高耐溶剂性的碱溶型放射线敏感性树脂组合物的碱溶性树脂。本发明涉及由下述式(1)表示的含不饱和基团的碱溶性树脂。(式中，A相互独立地为‑CO‑、‑SO₂‑、‑C(CF₃)₂‑、‑Si(CH₃)₂‑、‑CH₂‑、‑C(CH₃)₂‑、‑O‑、4,4‑亚环己基或单键，B为具有脂环式骨架的四羧酸的残基，G为氢原子或‑CO‑X‑(COOH)_x(X表示2～4元的多元羧酸的残基，x表示1～3的整数)。R₁相互独立地为氢原子或甲基，R₂相互独立地为碳原子数1～5的烷基或卤素基团。k为0～10，n为0～4，m为1～50的整数。)[化1]
式( 1 )碱溶性树脂氢原子残基放射线敏感性树脂组合物烷基不饱和基团脂环式骨架多元羧酸高灵敏度高溶解性卤素基团耐溶剂性碳原子数亚环己基高耐热四羧酸单键碱溶式中

[发明专利]含不饱和基团的碱溶性树脂和碱溶型放射线敏感性树脂组合物-CN201780056482.4在审
发明人：藤田贵史;六人部壮 -专利权人：长濑化成株式会社
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C08G63/553 文献下载
摘要：本发明提供一种酸值低、碱溶性、显影密合性、分辨率和电学特性优异的含不饱和基团的碱溶性树脂。提供一种含不饱和基团的碱溶性树脂，其特征在于，其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。
不饱和基团碱溶性树脂丙烯酸酯芴骨架环氧放射线敏感性树脂组合物电学特性反应物碱溶性密合性四羧酸酸二酐分辨率碱溶显影

[发明专利]抗蚀剂树脂及其制造方法-CN201580020255.7在审
发明人：青木畅章;六人部壮 -专利权人：长濑化成株式会社
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中，R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1～5的亚烷基、碳原子数为2～5的亚烯基或碳原子数为6～10的亚芳基；R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、碳原子数为2～5的烯基、碳原子数为6～10的芳基或卤原子；n表示0～20的整数；Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基；以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。
抗蚀剂树脂及其制造方法