[发明专利]用于测量动态和静态压力和/或温度的压电式测量元件有效
申请号: | 201580015103.8 | 申请日: | 2015-03-20 |
公开(公告)号: | CN106104242B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 罗兰·松梅尔;克劳迪奥·卡瓦洛尼 | 申请(专利权)人: | 基斯特勒控股公司 |
主分类号: | H01L41/113 | 分类号: | H01L41/113 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳;谢强 |
地址: | 瑞士温*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 一种用于测量动态压力并附加地用于测量温度和/或静态压力的测量元件(2),其包括由压电材料制成的主体(20),其中,主体(20)具有沿横向方向(Ta)彼此相对置地设置的侧表面(21,22),在这些侧表面上分别设置侧表面电极(210,220),测量元件在仅使用很少构件的情况下被简单、低成本地构建。这通过如下方式实现:即,将主体(20,20′)的压电材料选择为:使压电e张量的推力系数不等于零,由此能够充分利用逆压电效应;并且压电d张量的横向系数不等于零和/或压电d张量的纵向系数不等于零,由此能够同时伴随逆压电效应一起充分利用沿横向方向(Ta)的横向压电效应和/或沿纵向方向(L)的纵向压电效应。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 动态 静态 压力 温度 压电 元件 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量动态压力并附加地用于测量温度和/或静态压力的测量元件(2),所述测量元件包括由压电材料制成的主体(20,20′),其中,所述主体(20,20′)具有沿横向方向(Ta)彼此对置设置的侧表面(21,22),在所述侧表面上分别设置有侧表面电极(210,220),其中,为了充分利用压电效应,所述测量元件(2)能够沿纵向方向(L)被预紧地设置在测量元件保持件(1)中并能够承受力(F),其特征在于,所述主体(20,20′)的压电材料以如下的方式选择:即,压电e张量eijk的推力系数eiij不等于零,其中,i=1..3并且j=1..3,由此能够在作为厚度方向剪切振动器工作时充分利用逆压电效应;以及附加地,压电d张量dijk的横向系数dijj不等于零,其中,i=1..3并且j=1..3;和/或所述压电d张量dijk的纵向系数diii不等于零,其中,i=1..3并且j=1..3,由此使得沿横向方向(Ta)的横向压电效应和/或沿纵向方向(L)的纵向压电效应能够同时与所述逆压电效应通过相同的主体(20,20′)被应用。
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