[发明专利]支承玻璃基板及使用其的层叠体在审
申请号: | 201580014823.2 | 申请日: | 2015-03-11 |
公开(公告)号: | CN106103369A | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 池田光;铃木良太 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/091 | 分类号: | C03C3/091;C03C3/093;H01L21/02;H01L21/683 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张玉玲 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种支承玻璃基板,其在20~200℃的温度范围内的平均线性热膨胀系数为66×10-7/℃以上且81×10-7/℃以下。 | ||
搜索关键词: | 支承 玻璃 使用 层叠 | ||
【主权项】:
一种支承玻璃基板,其特征在于,在20℃~200℃的温度范围内的平均线性热膨胀系数为66×10-7/℃以上且81×10-7/℃以下。
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