[发明专利]制造堆叠的有机发光二极管的方法和设备及堆叠的OLED装置

摘要

本发明涉及一种制造堆叠的有机发光二极管(OLED)装置的方法。该方法包含以下数个步骤：提供载体(9)；以及，通过由基于溶液来沉积第一有机发光二极管的连续的二极管层，而在该载体上形成该第一有机发光二极管(9)。该方法进一步包含：在该第一有机发光二极管上形成一个或多个电荷注入层；以及，通过由基于溶液来沉积第二有机发光二极管的连续的二极管层，而在该载体上形成第二有机发光二极管。该形成一个或多个电荷注入层的步骤包含执行原子层沉积的步骤，其用于沉积该一个或多个电荷注入层中的至少一层。本发明还涉及一种用于制造堆叠的OLED的设备及一种堆叠的OLED装置。

主权项

一种制造堆叠的有机发光二极管OLED装置的方法，所述方法包含下述步骤：提供载体；通过由基于溶液来沉积第一有机发光二极管的连续的二极管层，而在该载体上形成第一有机发光二极管；在该第一有机发光二极管上形成一个或多个电荷注入层；通过由基于溶液来沉积第二有机发光二极管的连续的二极管层，而在该载体上形成第二有机发光二极管；其中该形成一个或多个电荷注入层的步骤包含执行原子层沉积的步骤，该原子层沉积的步骤用于沉积该一个或多个电荷注入层中的至少一层，且其中该方法在大气环境压力下执行。