[发明专利]包括高容量预加热器区的CVI致密化装置有效
申请号: | 201580013881.3 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN106133189B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | B·戴尔佩里亚;J-F·颇汀;S·苏利纳克 | 申请(专利权)人: | 赫拉克勒斯公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐鑫;项丹 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及热化学处理装置(100),包括:反应室(140)、至少一个气体入口(104)和位于气体入口(104)与反应室(140)之间的气体预加热器室(110)。预加热器室(110)具有一个在另一个上面的、相互间隔开的多个穿孔分布板(111‑114)。至少在相对分布板之间,预加热器室(110)还包括多个壁(1110、1120、1130),其限定了所述板(111‑114)之间的气流的流动路径。 | ||
搜索关键词: | 包括 容量 加热器 cvi 致密 化装 | ||
【主权项】:
1.一种热化学处理装置,其包括:反应室、至少一个气体入口以及位于所述气体入口和所述反应室之间的气体预加热器室,所述预加热器室具有一个在另一个上面的、相互间隔开的多个穿孔分布板,所述装置的特征在于,在至少两个相对分布板之间,所述预加热器室还包括限定了所述板之间的气流的流动路径的多个壁,每个壁在所述至少两个相对分布板之间垂直延伸。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的