[发明专利]压力传感器

摘要

本发明为检测压力波动的压力传感器(1)，具备与传感器本体的腔的内部和外部的压力差对应地挠曲变形的悬臂(4)、以及在悬臂的基端部(4a)形成的臂内间隙(21)。基端部在平面视图中沿与连结基端部和顶端部(4b)的第一方向(L1)正交的第二方向(L2)被通过臂内间隙划分为第一支撑部(22)及第二支撑部(23)。在第一及第二支撑部的一部分设置的掺杂层(24)形成第一位移检测部(25)及第二位移检测部(26)。第一及第二位移检测部与第一及第二支撑部相比，沿第二方向的长度短。

主权项

1.一种检测压力波动的压力传感器，具备：中空的传感器本体，其在内部形成腔，且具有将所述腔与外部连通的连通开口；以及悬臂，其在顶端部为自由端，且基端部由所述传感器本体支撑的单侧支撑状态下以堵塞所述连通开口的方式配置，且与所述腔和所述传感器本体的外部的压力差对应地挠曲变形，在所述基端部，形成构成所述连通开口的一部分的间隙，所述基端部在平面视图中在与连结所述基端部和所述顶端部的第一方向正交的第二方向上由所述间隙划分为多个分支部，所述多个分支部中的至少任一个具备位移检测部，所述位移检测部基于电阻值变化来检测与所述悬臂的挠曲变形对应的位移，该电阻值变化对应于该位移，所述位移检测部的沿所述第二方向的长度比设有该位移检测部的所述分支部的沿所述第二方向的长度短，所述位移检测部具备通过划分部而被沿所述第二方向电气地划分的多个分支检测部，所述划分部具有比该位移检测部大的电阻值，所述分支检测部相互以环绕所述划分部的外侧的方式电连接。