[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201580013040.2 | 申请日: | 2015-02-27 |
公开(公告)号: | CN106062525B | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 下山勋;松本洁;高桥英俊;阮明勇;内山武;大海学;筱原阳子;须田正之 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司;国立大学法人东京大学 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;H01L29/84 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 严志军;傅永霄 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【说明书】:
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