[发明专利]蒸镀装置以及使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法

摘要

在蒸镀装置中，包括：腔室，蒸镀对象物设于该腔室内；存在于腔室内、具有用于收纳蒸镀材料的壳体的蒸镀源(6)；和对蒸镀材料进行加热的加热部；在壳体开设有：将该壳体的内外连通、向蒸镀对象物吐出蒸镀材料的蒸气的多个吐出口；和能够开闭的排气口。

主权项

1.一种蒸镀装置，包括：腔室，蒸镀对象物设于该腔室内；第1排气单元，将所述腔室内的气体向所述腔室外排气；存在于所述腔室内、具有用于收纳蒸镀材料的壳体的蒸镀源；和对所述蒸镀材料进行加热的加热部；在所述壳体开设有：将该壳体的内外连通、向所述蒸镀对象物吐出所述蒸镀材料的蒸气的多个吐出口；能够开闭的排气口；和进气口，所述蒸镀装置，还包括：连接于所述排气口、将所述壳体内与所述腔室外连通的排气管；将所述壳体内的气体经由所述排气管向所述腔室外排气的第2排气单元；连接于所述进气口、将所述壳体内与所述腔室外连通的进气管；和使气体经由所述进气管进入所述壳体内的进气单元，在所述壳体内设有收纳所述蒸镀材料的坩埚，所述壳体具有：具有底板和围绕所述底板的周壁的壳体主体部；和与所述底板相对向、并与所述底板以及所述周壁一起形成收纳所述坩埚的内部空间的壳体盖部；在所述壳体主体部开设所述排气口，在所述壳体盖部开设所述多个吐出口，所述排气口位于所述周壁上的在与所述底板垂直的方向上的所述坩埚的上缘与所述多个吐出口之间。