[发明专利]工作台装置、测量装置、机床和半导体制造装置

摘要

本发明的工作台装置（100）具备：第一工作台（1），其具有第一上表面；第二工作台（2），其在与规定面内的第一轴平行的第一轴向上配置在第一工作台的一侧，具有第二上表面；第一导向装置（3），其沿第一轴向引导第一工作台；以及第二导向装置（4），其沿第一轴向引导第二工作台。第一导向装置与第二导向装置沿与正交于第一轴的规定面内的第二轴平行的第二轴向配置。

主权项

1.一种工作台装置，其特征在于，具备：第一工作台，其具有第一上表面；第二工作台，其在与规定面内的第一轴平行的第一轴向上配置在所述第一工作台的一侧，具有第二上表面；第一导向装置，其沿所述第一轴向引导所述第一工作台；以及第二导向装置，其沿所述第一轴向引导所述第二工作台，所述第一导向装置与所述第二导向装置沿与正交于第一轴的所述规定面内的第二轴平行的第二轴向配置，所述第一导向装置包括：在所述第二轴向上支承所述第一工作台的一端部的第一导向机构、以及支承所述第一工作台的另一端部的第二导向机构，所述第二导向装置包括：在所述第二轴向上支承所述第二工作台的一端部的第三导向机构、以及支承所述第二工作台的另一端部的第四导向机构，在所述第二轴向上，所述第一导向机构最靠一侧地配置，所述第三导向机构仅次于所述第一导向机构靠所述一侧地配置，所述第二导向机构仅次于所述第三导向机构靠所述一侧地配置，所述第四导向机构最靠另一侧地配置，所述第一导向装置具有：第一滑动件，其与所述第一工作台的第一下表面连接；以及第一导轨，所述第一滑动件在该第一导轨上移动，所述第二导向装置具有：第二滑动件，其与所述第二工作台的第二下表面连接；以及第二导轨，所述第二滑动件在该第二导轨上移动，所述第一导轨与所述第二导轨在所述第二轴向上平行地配置，所述第一滑动件和所述第二滑动件能够以所述第一滑动件与所述第二滑动件的至少一部分沿所述第二轴向配置的方式在所述第一轴向上相对移动，所述第一工作台的所述第一轴向上的尺寸小于所述第一滑动件的所述第一轴向上的尺寸，所述第二工作台的所述第一轴向上的尺寸小于所述第二滑动件的所述第一轴向上的尺寸，在所述第一工作台与所述第二工作台靠近时，所述第二滑动件的一部分位于所述第一工作台的一部分的下方，且所述第一滑动件的一部分位于所述第二工作台的一部分的下方。