[发明专利]导向阀结构和质量流控制器

摘要

导向阀结构被描述为包括主阀，所述主阀具有流主体且具有入口和出口，和膜片，所述膜片具有周边、可移动部分、和第一和第二侧。流主开口在流本体中位于入口和出口之间。当膜片的可移动部分在第一和第二位置时，主阀插塞附接至和/或设置在膜片的可移动部分且打开和关闭流开口。导向阀还包括连接至流主体的流路径的导向阀入口。导向阀出口/开口在主阀插塞内设置且与主阀插塞同位协作。导向阀包括导向阀插塞，导向阀插塞可移动以打开和关闭导向阀开口。包括该导向阀结构的相关的质量流控制器被进一步描述。

主权项

一种导向阀组件，其包括：主阀，所述主阀具有(i)流主体，所述流主体限定用于流体的流路径并具有入口和出口，所述主阀具有(ii)膜片，所述膜片具有周边、可移动部分、以及第一和第二侧，其中所述膜片的周边相对于所述阀本体被固定，且其中所述可移动部分响应于所述第一和第二侧之间存在的压力差可操作以移动，所述主阀具有(iii)流主开口，所述流主开口在所述流本体中位于入口和出口之间，和所述主阀具有(iv)主阀插塞，所述主阀插塞附接至所述膜片的可移动部分且当所述膜片的可移动部分分别处于第一和第二位置时可操作以打开和关闭流开口；导向阀，所述导向阀具有(i)导向阀流本体，所述导向阀流本体限定流路径且具有导向阀入口，所述导向阀入口在所述流主开口的上游连接至所述流主体的流路径，所述导向阀具有(ii)导向阀出口，所述导向阀出口包括设置在所述主阀插塞内的开口，其中所述导向阀开口具有一横截面面积且被构造成允许从所述导向入口至所述流主开口的流体流，和所述导向阀具有(iii)导向阀插塞，所述导向阀插塞沿从第一位置至第二位置的位置的范围可移动且是当所述导向阀插塞分别在第一和第二位置时可操作以打开和关闭所述导向阀流开口；其中，所述导向阀开口与所述主阀插塞同位协作且一体；以及导向阀电磁阀，所述导向阀电磁阀连接至所述导向阀插塞且响应于接收的命令信号可操作以控制沿所述位置范围的所述导向阀插塞位置。