[发明专利]电介质基材表面的金属化方法以及附有金属膜的电介质基材有效
申请号: | 201580010759.0 | 申请日: | 2015-02-24 |
公开(公告)号: | CN106460175B | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 山村和也;大久保雄司;佐藤悠;疋田真也 | 申请(专利权)人: | 国立大学法人大阪大学;日油株式会社 |
主分类号: | C23C18/08 | 分类号: | C23C18/08;C23C18/04 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;吕秀平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明的电介质基材表面的金属化方法,对电介质基材表面进行使用稀有气体的大气压等离子体处理,生成过氧化物自由基,使接枝剂与其反应,将与银离子以配位键相结合的官能团固定,涂布含有式(1)的银化合物(A)10~50质量%和式(2)的胺化合物(B)50~90质量%的含银组合物,进行加热、固化形成银薄膜层,通过这样的方法,在虽然没有信号传播速度的延迟或消耗电量的增加而适宜作为电介质基材但密合性极低的氟树脂的表面,也能够形成具有高密合性的金属膜。(R1:氢、-(CY2)a-CH3或-((CH2)b-O-CHZ)c-CH3、R2:-(CY2)d-CH3或-((CH2)e-O-CHZ)f-CH3。Y:氢原子或-(CH2)g-CH3、Z:氢原子或-(CH2)h-CH3。a:0~8的整数、b:1~4的整数、c:1~3的整数、d:1~8的整数、e:1~4的整数、f:1~3的整数、g:1~3的整数、h:1~2的整数。) |
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搜索关键词: | 电介质 基材 表面 金属化 方法 以及 附有 金属膜 | ||
【主权项】:
1.一种电介质基材表面的金属化方法,其特征在于,包括:对电介质基材的表面进行使用稀有气体的大气压等离子体处理,在表面生成过氧化物自由基的工序;使接枝剂与生成有所述过氧化物自由基的基材表面反应,将与银离子以配位键相结合的官能团固定的工序;和在固定有所述与银离子以配位键相结合的官能团的基材表面,涂布含银组合物,通过加热、固化形成银薄膜层的工序,所述含银组合物是含有下述式(1)所示的银化合物(A)和下述式(2)所示的胺化合物(B)的组合物,该组合物相对于银化合物(A)和胺化合物(B)的总计100质量%,含有银化合物(A)10~50质量%和胺化合物(B)50~90质量%,
式中,R1表示氢、-(CY2)a-CH3或-((CH2)b-O-CHZ)c-CH3,R2表示-(CY2)d-CH3或-((CH2)e-O-CHZ)f-CH3,其中,Y表示氢原子或-(CH2)g-CH3,Z表示氢原子或-(CH2)h-CH3,a是0~8的整数,b是1~4的整数,c是1~3的整数,d是1~8的整数,e是1~4的整数,f是1~3的整数,g是1~3的整数,h是1~2的整数。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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