[实用新型]一种石墨烯场效应晶体管有效
| 申请号： | 201521137005.5 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205376536U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 白德旭 | 申请（专利权）人： | 白德旭 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/12;H01L29/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610199 四川省成都市龙*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体器件领域，尤其涉及一种石墨烯场效应晶体管，包括设置在柔性基底形成的凹槽中的石墨烯层和栅极电介质层，设置在石墨烯层形成的凹槽两侧的源极电极和漏极电极，和设置在栅极电介质层形成凹槽中的栅极电极；其中，所述栅极电介质层设置在所述源极电极和漏极电极与栅极电极之间以将源极电极和漏极电极与栅极电极隔开。本实用新型通过设置柔性基底使石墨烯场效应晶体管更适用于各种柔性器件中，近似柱状的结构减小了在基底上的占用面积，节省空间，有利于更好地实现元件的集成化布局。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
一种石墨烯场效应晶体管，其特征在于，所述石墨烯场效应晶体管包括设置在柔性基底(1)形成的凹槽中的石墨烯层(2)和栅极电介质层(5)，设置在石墨烯层(2)形成的凹槽两侧的源极电极(3)和漏极电极(4)，和设置在栅极电介质层(5)形成凹槽中的栅极电极(6)；其中，所述栅极电介质层(5)设置在所述源极电极(3)和漏极电极(4)与栅极电极(6)之间以将源极电极和漏极电极(4)与栅极电极(6)隔开。
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