[实用新型]一种薄膜晶体管有效
| 申请号: | 201521116388.8 | 申请日: | 2015-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN205564761U | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
| 发明(设计)人: | 万阳 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/423 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 彭秀丽 |
| 地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种薄膜晶体管包括半导体层,设置基板上;栅极绝缘层,设置在所述基板上覆盖所述半导体层;第一栅极层,设置在所述栅极绝缘层上;电容绝缘层,设置在所述栅极绝缘层上覆盖所述第一栅极层;还包括第二栅极层,设置在所述电容绝缘层上且与所述第一栅极层电连接。本实用新型通过设置双栅结构能够有效克服膜层间短路/断路的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 薄膜晶体管 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管,包括:基板;半导体层(02),设置基板上;栅极绝缘层(03),设置在所述基板上,覆盖所述半导体层(02);第一栅极层(05),设置在所述栅极绝缘层(03)上;电容绝缘层(04),设置在所述栅极绝缘层(03)上覆盖所述第一栅极层(05);其特征在于,还包括第二栅极层(06),设置在所述电容绝缘层(04)上且与所述第一栅极层(05)电连接。
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