[实用新型]多参数R值倒角磨轮有效
申请号: | 201521054842.1 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN205310084U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 张松江;贺贤汉;徐旺君 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | B24D5/00 | 分类号: | B24D5/00 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 陈淑章 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了多参数R值倒角磨轮,多参数R值倒角磨轮的凹槽数大于等于4个,所述凹槽的截面为圆弧,所述圆弧的半径为0.1mm~0.4mm,所述凹槽半径分为两组以上,每组的半径不相等。本实用新型新设计采用1个磨轮多个R值参数,常规设计通常需要根据产品的不同而更换磨轮,多参数R值倒角磨轮通常不需要更换磨轮,提高了效率。多参数R值倒角磨轮可以预先设计不同的R值;既可满足客户要求多样性的要求,也可以降低采购周期和成本。多参数R值倒角磨轮加工时通过不同凹槽加工,为改善倒角加工过程中硅片崩边和硅片外延后外周缺陷创造条件。 | ||
搜索关键词: | 参数 倒角 | ||
【主权项】:
多参数R值倒角磨轮,其特征在于,所述多参数R值倒角磨轮的凹槽数大于等于4个,所述凹槽的截面为圆弧,所述圆弧的半径为0.1mm~0.4mm,所述凹槽半径分为两组以上,每组的半径不相等。
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