[实用新型]单晶炉冷却盘有效
申请号: | 201521054629.0 | 申请日: | 2015-12-17 |
公开(公告)号: | CN205258656U | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 张洪涛;宁斯琴;毛瑞川;李洪风 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李昊 |
地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种本单晶炉冷却盘,其特征在于,包括法兰板、冷却管,所述冷却管抵靠在所述法兰板的一侧板面上。如此设计,避免需要在法兰板内部设置复杂管路结构,降低了制造难度和成本。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 冷却 | ||
【主权项】:
一种单晶炉冷却盘,其特征在于,包括法兰板(1)、冷却管(2),所述冷却管(2)抵靠在所述法兰板(1)的一侧板面上。
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