[实用新型]单晶炉冷却盘

权利要求书

1.一种单晶炉冷却盘，其特征在于，包括法兰板(1)、冷却管(2)，所 述冷却管(2)抵靠在所述法兰板(1)的一侧板面上。

2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，所述冷却管(2)抵 靠在所述法兰板(1)朝向所述单晶炉内侧的板面上。

3.根据权利要求1或2所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，所述冷却管呈蛇 形盘旋并抵靠在所述法兰板(1)的一侧板面上。

4.根据权利要求2所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，所述法兰板(1)上 设置有开口，所述冷却管(2)通过所述开口。

5.根据权利要求2所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，所述法兰板(1)上 设置有冷却管入口和冷却管出口，所述冷却管(2)一端通过所述冷却管入口到 达所述法兰板(1)朝向所述单晶炉外侧的外侧面，所述冷却管(2)另一端通过 所述冷却管出口到达所述法兰板(1)朝向所述单晶炉外侧的外侧面。

6.根据权利要求5所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，所述冷却管(2)所 述的一端向所述单晶炉内侧弯曲后再通过所述冷却管入口到达所述法兰板(1) 朝向所述单晶炉外侧的外侧面，所述冷却管(2)所述的另一端向所述单晶炉内 侧弯曲后再通过所述冷却管入口到达所述法兰板(1)朝向所述单晶炉外侧的外 侧面。

7.根据权利要求4或5所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，还包括水冷接头 (3)，所述水冷接头(3)连接至所述冷却管(2)位于所述法兰板(1)朝向所 述单晶炉外侧的外侧面端部。

8.根据权利要求7所述的单晶炉冷却盘，其特征在于，还抱过O型圈(4)， 所述O型圈(4)安装在水冷接头(3)上，保证整个水冷系统的真空密封性。