[实用新型]湿式显影辅助晃动机构有效
| 申请号： | 201521004826.1 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN205193431U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 赵晗;江献茂 | 申请（专利权）人： | 冠礼控制科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军;袁步兰 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区上海市外高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种湿式显影辅助晃动机构，包括安装吊轴(1)、不锈钢外壳(2)和载具(3)，安装吊轴(1)固定连接在不锈钢外壳(2)顶端，不锈钢外壳(2)内部装有伺服电机(4)和减速机(5)，减速机(5)的输出端连接有传动齿轮(6)，传动齿轮(6)的输出端连接转轴(7)，转轴(7)的另一端装有摇臂(8)，摇臂(8)固定连接在载具(3)上，载具(3)上设有用于放置晶圆(9)的花篮(10)；本实用新型同现有技术相比，使每一片晶圆在显影液中以可调的速率以及可调的运动半径做匀速圆周运动，以辅助的物理力使周围的显影液流场均匀可控，提高了显影均匀性和显影速率，避免了显影不够或过度显影情况的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 辅助 晃动 机构 | ||
【主权项】：
一种湿式显影辅助晃动机构，其特征在于：包括安装吊轴(1)、不锈钢外壳(2)和载具(3)，所述安装吊轴(1)固定连接在不锈钢外壳(2)顶端，所述不锈钢外壳(2)内部装有伺服电机(4)和减速机(5)，所述减速机(5)的输出端连接有传动齿轮(6)，所述传动齿轮(6)的输出端连接转轴(7)，所述转轴(7)的另一端装有摇臂(8)，所述摇臂(8)固定连接在载具(3)上，所述载具(3)上设有用于放置晶圆(9)的花篮(10)。
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