[实用新型]一种硅片破损检测设备有效
| 申请号： | 201520957315.5 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN205262985U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘大鹏;张涛;梁善友;蒋开发;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;B07C5/34 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片破损检测设备，包括：机架，用于依次向后输送硅片的第一输送单元、第二输送单元和第三输送单元，用于检测硅片破损的检测单元，用于收集破损硅片的破损收集盒，用于设备异常时收集硅片的异常收集盒。检测单元、第一输送单元、第二输送单元及第三输送单元均与一控制器连接。本实用新型可对有规则的硅片进行在线批量自动检测，且能根据检测信号自动处理硅片，设备结构简单连贯，能有效提高硅片的完整度和生产加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 破损 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种硅片破损检测设备，其特征在于包括：机架（1），用于依次向后输送硅片的第一输送单元（2）、第二输送单元（3）和第三输送单元（4），用于检测硅片破损的破损检测单元（5），用于收集破损硅片的破损收集盒（6），用于控制第一输送单元（2）、第二输送单元（3）和第三输送单元（4）运行状态的控制器；所述破损检测单元（5）与第一输送单元位置（2）配合，所述第二输送单元（3）的后端可向下倾斜转动，所述破损收集盒（6）设于第二输送单元（3）的后端下方，所述控制器接收破损检测单元（5）的检测信号，并控制第二输送单元（3）后端是否向下倾斜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，未经深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520957315.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
