[实用新型]一种硅片破损检测设备

权利要求书

1.一种硅片破损检测设备，其特征在于包括：机架（1），用于依次向后输送硅片的第一输送单元（2）、第二输送单元（3）和第三输送单元（4），用于检测硅片破损的破损检测单元（5），用于收集破损硅片的破损收集盒（6），用于控制第一输送单元（2）、第二输送单元（3）和第三输送单元（4）运行状态的控制器；

所述破损检测单元（5）与第一输送单元位置（2）配合，所述第二输送单元（3）的后端可向下倾斜转动，所述破损收集盒（6）设于第二输送单元（3）的后端下方，所述控制器接收破损检测单元（5）的检测信号，并控制第二输送单元（3）后端是否向下倾斜。

2.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，还包括：用于检测本检测设备异常或下一工序设备异常的异常检测单元、用于设备异常时收集硅片的异常收集盒（7），所述异常收集盒（7）设于第一输送单元（2）的前端下方，所述第一输送单元（2）可升降运动，所述控制器接收异常检测单元的检测信号，并控制第一输送单元（2）是否向上升起。

3.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述检测单元包括：设于第一输送单元（2）上方的相机（51）、设于第一输送单元下方的背光源（52）、接收相机（51）所拍图像的图像分析模块，所述图像分析模块分析图像并将检测信号传送至控制器。

4.如权利要求2所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送单元（2）底部设有升降电动件（23），第一输送单元（2）的底部还设有至少一个导向机构（24），所述升降电动件（23）可推动第一输送单元（2）升降运动，所述升降电动件（23）与控制器连接。

5.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第二输送单元（3）的后端连接有转动调节装置（8），该转动调节装置（8）包括：一端铰接在第二输送单元（3）后端的旋转板（81）、铰接连接在所述旋转板（81）下方的推拉电动件（82），所述推拉电动件（82）可拉动旋转板（81）的活动端向下倾斜，所述推拉电动件（82）与控制器连接。

6.如权利要求5所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送单元（2）包括：并排设置的至少一个第一输送通道（21）、与第一输送通道（21）数量相同的第一马达（22），每个第一输送通道（21）传动连接一个第一马达（22），所述第一马达（22）可带动各自连接的第一输送通道（21）向后运送硅片；

所述第二输送单元（3）包括：与第一输送通道（21）数量配合的第二输送通道（31）、与所有第二输送通道（31）传动连接的第二马达（32），所述第二马达（32）可带动所有第二输送通道（31）同步运送；

所述第三输送单元（4）包括：与第一输送通道（21）数量配合的第三输送通道（41）、与所有第三输送通道（41）传动连接的第三马达（42），所述第三马达（42）可带动所有第三输送通道（41）同步运送。

7.如权利要求6所述的硅片破损检测设备，其特征在于，每个第一输送通道（21）均配合设有破损检测单元（5），每个第二输送通道（31）的后端连接一转动调节装置（8）。

8.如权利要求7所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送通道（21）、第二输送通道（31）及第三输送通道（41）均由两对称设置的传送带组件构成，所述旋转板（81）的两侧也设有传送带组件。