[实用新型]微半环凹模阵列式研抛装置

摘要

一种微半环凹模阵列式研抛装置，Z方向主进给机构安装在床身上，Z方向微动进给机构安装在Z方向主进给机构上，Z方向微动进给机构与微细超声振动装置连接，微细超声振动装置的控制端与可调微细超声波发生器连接，微细超声振动装置的动作端通过工具连接装置超精密研抛模连接，超精密研抛模的下方布置XY工作台，超精密研抛模与XY工作台之间为加工工位，加工工位上安装研抛液进给和循环系统，研抛液进给和循环系统底部安装传感器连接板，传感器连接板与力传感器连接。本实用新型高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率。

主权项

一种微半环凹模阵列式研抛装置，其特征在于：包括床身、Z方向主进给机构、Z方向微动进给机构、微细超声振动装置、可调微细超声波发生器、工具连接装置、超精密研抛模、研抛液进给和循环系统、传感器连接板、力传感器和XY工作台，所述Z方向主进给机构安装在床身上，所述Z方向微动进给机构安装在所述Z方向主进给机构上，所述Z方向微动进给机构与微细超声振动装置连接，所述微细超声振动装置的控制端与所述可调微细超声波发生器连接，所述微细超声振动装置的动作端通过工具连接装置所述超精密研抛模连接，所述超精密研抛模的下方布置XY工作台，所述超精密研抛模与XY工作台之间为加工工位，所述加工工位上安装所述研抛液进给和循环系统，所述研抛液进给和循环系统底部安装传感器连接板，所述传感器连接板与力传感器连接；所述研抛模包括工具连杆、定位基板、精密球体，工具连杆的上端与微细超声发生器相连接，所述工具连杆的下端与定位基板连接，在定位基板上加工出阵列孔径，孔径大小小于精密球体直径，在孔径和精密球体之间充满粘结剂，球体的一部分嵌入孔内。