[实用新型]一种改进型真空镀膜机有效
| 申请号： | 201520872357.9 | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN205205221U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杨志民;王军 | 申请（专利权）人： | 江苏星浪光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改进型真空镀膜机，属于滤光片镀膜制造技术领域，解决了传统镀膜机洁净度不稳定，基片在真空镀膜过程中因油蒸汽返流污染所造成的成品率下降，不能满足现代公司科技生产品质要求的问题。主要包括真空镀膜室、油扩散泵、机械真空泵、热交换器，真空镀膜室经放气阀、高真空阀、冷阱与油扩散泵相连接。本实用新型提高了产品镀膜的真空洁净度，使真空镀膜机在生产技术精准度要求较高的电子镀膜产品质量方面有了明显提高，保障了公司科研生产的发展需要，本实用新型应用广泛，可广泛应用于滤光片镀膜制造技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种改进型真空镀膜机，包括真空镀膜室(1)、油扩散泵(2)，其特征在于：所述真空镀膜室(1)经放气阀(3)、高真空阀(4)、冷阱(5)与油扩散泵(2)相连接，所述放气阀(3)与高真空阀(4)间设有预抽阀(6)，所述预抽阀(6)一方面经前级阀(7)与油扩散泵(2)相连，另一方面经泄气阀(8)与机械真空泵(9)相连接，其特征在于：所述冷阱(5)的出口经循环水管甲(10)延伸到循环水箱(11)内，所述循环水箱(11)内设有带有水泵(12)的循环水管乙(13)，所述循环水管乙(13)与盛放在半导体制冷水槽(14)的热交换器(15)相连，所述热交换器(15)的另一端经循环水管丙(16)与所述冷阱(5)的进口相连。
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