[实用新型]高密度等离子体机台顶端喷嘴与气体集流器的连接结构有效
| 申请号： | 201520856143.2 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN205069576U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘涛 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高密度等离子体机台顶端喷嘴与气体集流器的连接结构，包括设于顶端喷嘴上部外侧的一段外螺纹，以及配合设于气体集流器内壁下端的一段内螺纹，顶端喷嘴与气体集流器之间通过该外、内螺纹配合进行连接，可使顶端喷嘴与气体集流器的连接部位由原来的局部受力优化为整体受力，从而消除了顶端喷嘴因局部受力不均而破裂的问题，避免了经济损失，并保障了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 高密度 等离子体 机台 顶端 喷嘴 气体 集流器 连接 结构 | ||
【主权项】：
一种高密度等离子体机台顶端喷嘴与气体集流器的连接结构，其特征在于，包括设于顶端喷嘴上部外侧的一段外螺纹，以及配合设于气体集流器下端内壁的一段内螺纹，所述顶端喷嘴与气体集流器之间通过该外、内螺纹配合进行连接。
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