[实用新型]配置成用于真空腔室隔振的设备以及具有该设备的系统有效
| 申请号： | 201520820108.5 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN205092217U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | G·约斯特;L·F·利德尔;B·G·穆勒;G·曾 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型公开了配置成用于真空腔室隔振的设备以及具有该设备的系统。本公开提供了配置成用于真空腔室(10)隔振的设备(100)。所述设备(100)包括：基部装置(110)，所述基部装置(110)具有第一侧(112)和第二侧(114)，其中，所述第一侧(112)和所述第二侧(114)是所述基部装置(110)的相对侧；一个或多个第一柔性真空管线(120)，所述一或多个第一柔性真空管线(120)具有连接至所述基部装置(110)的所述第一侧(112)的第一端部以及可连接至所述真空腔室(10)的第二端部；连接装置(130)，所述连接装置(130)是可连接至所述真空腔室(10)的，其中，所述连接装置(130)配置成相对于所述基部装置(110)是移动的；以及一个或多个第二柔性真空管线(140)，所述一或多个第二柔性真空管线(140)具有连接至所述基部装置(110)的所述第二侧(114)的第一端部以及连接至所述连接装置(130)的第二端部。 | ||
| 搜索关键词： | 配置 用于 空腔 室隔振 设备 以及 具有 系统 | ||
【主权项】：
一种配置成用于真空腔室隔振的设备，所述设备包括：基部装置，所述基部装置具有第一侧和第二侧，其中，所述第一侧和所述第二侧是所述基部装置的相反侧；一个或多个第一柔性真空管线，所述一个或多个第一柔性真空管线具有连接至所述基部装置的所述第一侧的第一端部以及可连接至所述真空腔室的第二端部；连接装置，所述连接装置是可连接至所述真空腔室的，其中，所述连接装置配置成相对于所述基部装置是可移动的；以及一个或多个第二柔性真空管线，所述一个或多个第二柔性真空管线具有连接至所述基部装置的所述第二侧的第一端部以及连接至所述连接装置的第二端部。
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