[实用新型]用于制造侧壁局部高纯料石英坩埚的成型棒结构有效
申请号: | 201520812963.1 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN205035254U | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 赵亮;韩东;祝立君;杜兴林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古欧晶石英有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 赵月娜 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及用于制造侧壁局部高纯料石英坩埚的成型棒结构,其特征是:成型棒的外轮廓由从上到下依次相接的直壁段、等腰梯形凸起段、支撑段组成,直壁段与成型坩埚的刻蚀线上部的料层的内轮廓重合,等腰梯形凸起段的对称轴相对于成型坩埚的底部的高度h为成型坩埚的刻蚀线中心的平均统计高度,等腰梯形凸起段的腰边与底边的夹角为45°,支撑段与成型坩埚的刻蚀线下部的料层的内轮廓相平行,且支撑段上端设有与等腰梯形凸起段的腰边相接并与该腰边延伸方向重合的过渡段。结构简单、操作方便,减少了石英坩埚因熔融硅液面部位的蚀刻作用造成的负面影响,减少了单晶生长过程中由于蚀刻碎片造成的杂质含量和缺陷,提升整棒率、成晶率和单晶品质。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 侧壁 局部 高纯 料石 坩埚 成型 结构 | ||
【主权项】:
一种用于制造侧壁局部高纯料石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述成型棒的外轮廓由从上到下依次相接的直壁段、等腰梯形凸起段、支撑段组成,所述直壁段与成型坩埚的刻蚀线上部的料层的内轮廓重合,所述等腰梯形凸起段的对称轴相对于成型坩埚的底部的高度h为成型坩埚的刻蚀线中心的平均统计高度,所述等腰梯形凸起段的腰边与底边的夹角为45°,所述支撑段与成型坩埚的刻蚀线下部的料层的内轮廓相平行,且支撑段上端设有与等腰梯形凸起段的腰边相接并与该腰边延伸方向重合的过渡段。
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