[实用新型]一种扩散用的石英舟有效
| 申请号： | 201520797178.3 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN205122616U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 方结彬;秦崇德;石强;黄玉平;何达能;陈刚 | 申请（专利权）人： | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 | 代理人： | 张伶俐 |
| 地址： | 528100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散用的石英舟，包括舟架和横梁，舟架与横梁固定连接，横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片，位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。与现有技术相比，本实用新型通过设置位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度，使横梁右侧相邻凹槽内的硅片间距增大，可以提高工艺气体在舟尾处(即横梁右侧)的流动性，从而提高舟尾处硅片的方阻均匀性以及整舟硅片的片间方阻均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种扩散用的石英舟，包括舟架和横梁，舟架与横梁固定连接，横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片，其特征在于，位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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