[实用新型]一种多晶硅片单面制绒系统有效
| 申请号： | 201520788310.4 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN205016550U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 季根华;刘锋;李翔 | 申请（专利权）人： | 苏州旭环光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶硅片单面制绒系统，包括滚轮、喷淋器、传感器、循环控温系统、槽体及药液。本实用新型结构合理，构造简单，可以实现多晶硅片的单面制绒。相比传统的双面制绒装置，本实用新型装置仅对硅片的上表面进行制绒，一方面减少了药液的消耗，降低了生产成本；另一方面减少了硅片的去损量，提高了制绒后硅片的厚度，从而降低了制绒工序的碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 单面 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片单面制绒系统，所述系统包括滚轮（1）、喷淋器（2）、硅片探测器（3）、循环控温系统（4）、槽体（5）及药液（6），其特征在于，所述喷淋器（2）位于所述滚轮（1）的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州旭环光伏科技有限公司，未经苏州旭环光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520788310.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
