[实用新型]一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构

摘要

本实用新型涉及一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，与现有技术相比解决了结构复杂、操作复杂度高的缺陷。本实用新型中上吸盘的背面开设有左安装槽和右安装槽，右图像采集组件安装在右安装槽内，左图像采集组件和右图像采集组件两者结构相同；上吸盘上分别设有通光孔A、通光孔B、通光孔C和通光孔D，通光孔A和通光孔B分别位于左图像采集组件的两个反射棱镜的上方，通光孔C和通光孔D分别位于右图像采集组件的两个反射棱镜的上方，通光孔B和通光孔C分别与基板的两个参考标记相对应，通光孔A和通光孔D均位于基板的外围。本实用新型能够适用于背面对准的图像采集，且吸盘体可直接置于工作平台上工作。

主权项

一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，包括上吸盘（1）和下吸盘（2），上吸盘（1）和下吸盘（2）两者固定安装，基板（22）吸附在上吸盘（1）的正面上，其特征在于：所述的上吸盘（1）的背面开设有左安装槽（24）和右安装槽（25），左安装槽（24）和右安装槽（25）两者位于上吸盘（1）的同一条直径上且两者呈镜像对应，左图像采集组件（26）安装在左安装槽（24）内，右图像采集组件（27）安装在右安装槽（25）内，左图像采集组件（26）和右图像采集组件（27）两者结构相同；上吸盘（1）上分别设有通光孔A（31）、通光孔B（32）、通光孔C（33）和通光孔D（34），通光孔A（31）和通光孔B（32）分别位于左图像采集组件（26）的两个反射棱镜的上方，通光孔C（33）和通光孔D（34）分别位于右图像采集组件（27）的两个反射棱镜的上方，通光孔B（32）和通光孔C（33）分别与基板（22）的两个参考标记（4）相对应，通光孔A（31）和通光孔D（34）均位于基板（22）的外围。